CRYO PUMP

CanonANELVA(アネルバ)

キヤノンアネルバ株式会社はクライオポンプ製造などに加え、多くの真空成膜加工装置製造真空コンポーネント製品製造などを行っています。

P-086C
CAP-80
CAP-80MKⅡ
CAP-83R
CAP-120MKⅡ
CAP-121
P-08シリーズ
P-10シリーズ
P-12シリーズ

HELIX

株式会社アルバック（旧日本真空技術株式会社）と米国ヘリックス・テクノロジー・コーポレーション（CTI）（現　Brooks Automation,Inc.) との共同出資、技術契約に基づく合弁会社として設立されました。クライオポンプのメーカーで弊社では多くの修理実績を持っています。

8185037G001
8185037G002
8185095G001
8185095G001R
8185095G002
8185095G002R
CT-100
CT-8
CT-8F
CT-10
CT-10F
CT-250F
CT-400
OB-4
OB-4F
OB-6
OB-8
OB-8F
OB-10
OB-10F
OB-250F
OB-400
OB-IS 8F
OB-IS 250F
OB-IS 320F
OB-300
OB-RetroFast
Water Pump

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ULVAC

アルバック社は真空技術を応用した製造装置を提供。半導体、エレクトロニクス、FPD、太陽電池、などあらゆる産業に貢献。

U-6シリーズ
U-8シリーズ
U-10シリーズ
U-12シリーズ
U-16シリーズ
U-20シリーズ
U-22シリーズ
U-26シリーズ
U-30シリーズ
U-32シリーズ

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アイシン

アイシン精機株式会社は2014年にクライオポンプ製造・販売を終了しています。弊社では修理対応が可能です。お困りの際は、お問い合わせください。

GA-12
SA08FA-11M-RS2
SA08FA-11S-RS2
SA08SA-11S
SA10FI-11M
SA10FI-11S
SA10FI-11S-RS1
SA12SA-11S-E
SA08シリーズ
SA10シリーズ
SA12シリーズ

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ダイキン

ダイキンはチラーメーカーですが、多くの機種が製造終了しております。弊社では修理、OHを多数対応しておりますので、お困りの際はご連絡ください。

V-204シリーズ
V-208シリーズ

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住友重機械工業

住友重機械工業株式会社は住友グループの機械メーカーで造船・各種製造装置や精密機械などの最先端メカトロニクス分野でグローバル展開を行っています。スマートフォンから半導体製造装置まで製造しており、その中でクライオポンプも製造されています。最新機種に関しても弊社にて対応実績御座います。是非、お問い合わせください。