ESCとウェハーの接触面全体に均等にかかった静電気の作用によりウェハーを固定するため、ウェハー表面のFlatness（平面度）が保証されます。ウェハーがESC表面全体に密に接触し効果的にウェハーの基板温度制御が可能です。
