ESC(再生対応可能) | 製品カテゴリー | 株式会社ミチナス

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ESC(再生対応可能)

ESC

ESCとウェハーの接触面全体に均等にかかった静電気の作用によりウェハーを固定するため、ウェハー表面のFlatness(平面度)が保証されます。ウェハーがESC表面全体に密に接触し効果的にウェハーの基板温度制御が可能です。

  • 使用済ESCを再生し、新品と同等品質にすることにより、コスト削減を実現します。
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