SiCパーツ | 製品カテゴリー | 株式会社ミチナス

半導体設備事業

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SiCパーツ

SiC

SiCはシリコン(Si)と炭素(C)が1対1で結合した化合物で、耐摩耗性、耐熱性、耐腐食性等に優れています。 半導体製造工程で用いられるウェーハボートやチューブ、シリコンウェーハの代替となるダミーウェーハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。

  • コストメリットを出せる代替え品の提案が可能です。
  • 材質改善により、お客様の現場にフィットした代替品提案が可能です。
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