半導体設備事業について 専門性と多様性を兼ね備えたサービスをご紹介します

装置メンテナンス業務

請負・派遣対応

デバイスメーカー工場内での半導体製造装置の保守メンテナンスの請負業務と
装置メーカーへの技術者派遣を行なっております。

1)デバイスメーカー

 6インチ担当者(DRY工程)・・・2名
 8インチ担当者(DRY、WET、IMPLA他)・・・13名
 12インチ担当者(DRY、WET、METAL、BUMP、IMPLA他)・・・13名

2)装置メーカー

 コーターデベロッパFE業務・・・1名
 Etching装置、RTP装置、Ashing装置FE業務・・・2名

修理・オーバーホール対応

半導体装置周辺機器の修理、オーバーホール、販売を行なっております。

修理・オーバーホールリスト

  • ジェネレーター
  • MATCH
  • ターボポンプ
  • ロボット

Generatorメーカー商品(Apex5513,Apex3013,Apex10kw/13,Nova-50A,Atlas2012,HFV-8000,Spectrum B-10513,ASTRNS)

GENERATORメーカー

    Advanced Energy
    MKS ENI
    AD-TEC
    PEARL KOGYO
    DAIHEN
    KYOSAN
    THAMWAY
    RFPP
    COMEL
    AMAT

MATCHメーカー商品写真

MATCHERメーカー

    Advanced Energy
    ENI
    TRAZER
    AMAT
    Lam
    AD-TEC
    パール工業
    ASTECH
    DAIHEN
    京三製作所
    電気興業

ターボポンプメーカー商品写真

TURBOPUMPメーカー

    Alcatel
    Ebara
    Mitsubishi
    Leybold
    Balzers
    Rigaku
    Seiko Seiki
    Osaka
    Pheiffer
    Shimadzu
    Ulvac
    Varian

クライオポンプ メーカー

    鈴 商

ロボットメーカー商品写真

ROBOTメーカー

    Brooks
    PRI/EQUIPE(Brooks)
    Kensington
    RORZE
    Genmark
    ASYST
    AMAT Vacuum Robot
    TDK
    NIKON
    CANON
    RUDOLPH
    MECS

SORTERメーカー

    RORZE
    Brooks
    PST/ASYST

PREALIGNER/CONTROLLER メーカー

    PRI/EQUIPE(Brooks)
    ASYST
    Brooks
    RORZE

SMITメーカー

    ASYST

ARMSETメーカー

    各社

ロボット用PCBメーカー

    各社

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