販売パーツ・機器一覧 | 株式会社ミチナス

半導体設備事業

販売パーツ・機器一覧

  • 一般薬品 冷媒剤、洗浄・脱脂剤

    冷媒剤、洗浄・脱脂剤を取り扱っております。高品質、低コスト・省エネルギー、高い安全性・環境への配慮有る薬品をご提案致します。

  • DRY PUMP用パーツ[画像]

    DRY PUMP用パーツ

    各種ポンプのオーバーホール用部品を取り扱っております。型式はお問い合わせください。

  • フィッテングバルブ

    真空機器装置において高真空・圧力調整に使用されおります。あらゆる領域(条件)、用途に使用されております。

  • O-RING

    圧し潰して使用する軟質タイプのシール材を主に差し、材質にはゴムを使用するものが一般的です。弊社ではコスト面、材質改善などをご提案可能です。

  • GASKET

    シール材の中で主に動作の無い部分に使用されるものをGASKET(ガスケット)と呼びます。弊社ではGASEKTやパッキンを各種販売致します。詳細に関しては是非お問い合わせください。

  • 石英パーツ

    半導体設備に使用されている
    石英パーツを取り扱っておりま
    す。型式はお問合せ下さい。

  • 瞬低対策補機

    落雷などの自然災害がもたらす送電線事故は、短時間で故障を除去して停電を防ぐことはできますが、一時的に電圧が低下すること(瞬低)一時的に電圧が停止すること(瞬停)は避けられません。この瞬低/瞬停に対策をすることで、大幅な生産性の向上が得られます。

  • セラミックパーツ

    半導体設備に使用されているセラミックパーツを取り扱っております。型式はお問合せ下さい。

  • SiCパーツ

    半導体設備に使用されているSiCパーツを取り扱っております。型式はお問合せ下さい。

  • ESC(再生対応可能)

    ESC(Electrostatic Chuck)とは、静電気の力を利用して基板を下部電極に固定する機能を果たします。機械チャックのように粒子汚染の原因となるクランプ(Clamp)が必要ありません。ESCの再生も対応致しますので、お問い合わせください。

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