半導体の修理オーバーホール対応一覧 | 株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

株式会社ミチナスは半導体に関わらず、各種機器の中古販売、修理などを手がけております。
また独自のネットワークにて国内、海外問わず、様々なメーカー品を対応可能ですのでお問い合わせください。

  • RFGenerator[画像]

    RFGenerator

    電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。
    高周波電源は直流電源等と同じく、高周波(いわゆる電波)を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。

  • Matching Box[画像]

    Matching Box

    プラズマ処理装置用インピーダンス整合器です。

  • Robot[画像]

    Robot

    (SORTER・PREALIGNER/CONTROLLER・SMIF)

    装置メーカーオリジナルの物から、ロボットメーカー製の物まで多種存在し多くのメーカー修理に対応出来ます。

  • TURBO PUMP[画像]

    TURBO PUMP

    多くのメーカー品を修理、Exchangeの対応が可能です。また、中古販売も出来ます。

  • DRY PUMP[画像]

    DRY PUMP

    (メカニカルブースターポンプ・ロータリーポンプ・スクロールポンプ・クライオポンプ)

    多くのメーカー品を修理対応が可能です。
    九州圏内でしたら引き取り対応します。
    中古販売も出来ますので是非お問い合わせください。

  • RPS[画像]

    RPS

    リモートプラズマ発生装置で、Gasクリーニングにて使用します。

  • DC電源[画像]

    DC電源

    多くのメーカー、機種を修理対応出来ますのでお問い合わせください。

  • Valve[画像]

    Valve

    多くのメーカー、機種を修理対応出来ますのでお問い合わせください。
    洗浄、クリーニング、部品交換、製作など内容もニーズに合わせて、ご対応いたします。

  • Chiller[画像]

    Chiller

    水や熱媒体の液温を管理しながら循環させ温度を一定に保つための装置です。
    冷やすだけでなく温めることもあり温度域は様々あります。
    多くのメーカー、機種を修理対応出来ます。

  • BOARD[画像]

    BOARD

    各種ボードの修理実績が御座います。
    無償にて鑑定致しますのでお問い合わせください。

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097-554-3351

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