Robot|半導体の修理オーバーホール対応製品カテゴリー|株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

Robot

AMAT

アプライド マテリアルズの製品で、RFGenerator、Matching Box、Robot、DC電源、Chillerなど多くの修理実績が御座います。 製造メーカーが特定できなくてもP/Nなどでお問い合わせください。

  • HP/HP+
  • VHP/VHP+
  • ARM SET
ASYST

半導体業界におけるファブオートメーション機器メーカーで、各種修理対応可能です。

  • 04300 series
  • 05300 series
  • 12000 series
  • UTW-F5500M
  • UTW-5500-028
  • UTX-1000
  • UTX-F5000
  • UTX-F5500
  • UTX-F5500M-037
Brooks

ブルックスオートメーション社は半導体製造、クリーン エネルギー、ライフ サイエンス創薬、バイオバンキング、および関連市場に対してクラス最高の自動化ソリューションを提供しています。

  • MTR5
  • VTR5
  • MAG6
  • MAG7
  • MAG8
  • ATR7
  • ATR8
  • AQR7
Genmark

Genmark Automation社はロボットのメーカーで弊社ではGBシリーズなど多くの機種の修理実績を持っています。

  • GB3
  • GB4
  • GB4E
  • GB4S
  • GB4P
  • GB5
  • GB7
  • GB7S
  • GB7SY
  • GB4PS
  • GB8
kensington

Robotメーカーで、弊社は多くの機種を修理実績持っています。

  • WH3C
  • WFH3C
  • WH4C
  • WFH4D
  • WH4D
  • 0190-22249
  • (300mm Producer Robot)
  • 0190-06909
  • (300mm Producer Controller)
  • 0190-06910
  • (300mm Producer Controller)
  • Multi-link module
PRI/EQUIPE(Brooks)

弊社では各種ロボット修理、OHの実績が御座います。

  • ATM-1x4
  • ATM-105
  • ATM-107
  • AXM-204
  • AXM-205
  • AXM-207
  • AXM-305
  • AXM-307
  • AXM-405
  • ABM405-1-NOZ
  • ATM-407
  • DBM-2405
  • DBM-2406
  • DBM-2407
  • DBM-2407-V2
  • DBM-2506
  • DBM-2507
  • DBM-2607
  • RC400M
  • TSB-2407
  • WTM-107
  • WTM-407
  • WTM-511
  • XU-RSM0120B
  • XU-RSM4800 R
  • XU-RSM5300(A)
  • XU-RSM5330
RORZE

ローツェ社のRobotでお困りでしたら、是非弊社へご相談ください。 多数の修理実績が御座いますので、ご安心ください。

  • RR304
  • RR700
  • RR701
  • RR711
  • RR713
  • RR713L1521-3A3-E01
  • RR721
TDK

FOUPロードポーのTAS300など修理実績を持っております。

  • TAS300

SORTER

Brooks

ブルックスオートメーション社は半導体製造、クリーン エネルギー、ライフ サイエンス創薬、バイオバンキング、および関連市場に対してクラス最高の自動化ソリューションを提供しています。

  • Sorter
PST/ASYST

ASYST社(旧PST社)の製品でIrvine Sorterの修理実績が御座います。

  • Irvine Sorter
RORZE

ローツェ社のRobotでお困りでしたら、是非弊社へご相談ください。 多数の修理実績が御座いますので、ご安心ください。

  • 200mm/300mm Sorter

PREALIGNER/CONTROLLER

PRI/EQUIPE(Brooks)

弊社では各種ロボット修理、OHの実績が御座います。

  • PRE-200
  • PRE-200B
  • PRE-201
  • PRE-201B
  • PRE-300
  • PRE-300B
  • PRE-300-CG-CE
  • PRE-301
  • PRE-301B
  • ESC-200
  • ESC-201
  • ESC-212
  • ESC-212B
  • ESC-218
  • ESC-222

SMIF

ASYST

半導体業界におけるファブオートメーション機器メーカーで、各種修理対応可能です。

  • INX2150
  • LPT2150
  • INX2200
  • LPT2200
  • LPO2200
  • LPX2200
  • Versa Port 2200
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