クライオポンプ|半導体の修理オーバーホール対応製品カテゴリー|株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

DRY PUMP

Alcatel

Alcatel Vacuum Technologyの製品で、TURBO PUMPのOHや中古販売の実績が御座います。

  • ACP28G
  • MDP5011
ANEST IWATA

アネスト岩田株式会社のDry Pump IPS500の修理実績が御座います。

  • IPS500
Ebara

株式会社 荏原製作所は真空ポンプ、CMP装置、めっき装置、排ガス処理装置のメーカーで、弊社ではTURBO PUMP、DRY PUMPの修理、中古販売の実績を持っています。

  • AA10
  • AA10N
  • A10S
  • AA10S
  • AS10S
  • AA20N
  • AA20
  • A30W
  • AA30
  • AA30N
  • AA40
  • AA40N
  • AA40W
  • AA40WN
  • A70
  • AA70
  • AA70WS
  • AA100
  • AA100WN
  • A150W
  • AA200WN
  • 40×20
  • 50×20USRR6M
  • 80×25UESRR6M
  • 150×40UERR6M
EDWARDS

エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • QDP-40
  • QDP-80
  • DP-40
  • DP-80
  • DP-180
  • GV-160
Kashiyama

樫山工業株式会社のDryPump、SD,SDEシリーズなど、多くの修理実績があります。

  • SD-90
  • SDE90
  • SDE120
  • SDE300
  • SDE600
  • SDE1200
  • SDE303
  • SDE603
  • SDE1203
  • SD90VⅢ
  • SD60VⅡ
  • SD1200
  • MS300
  • MS600
  • HC60
  • SDE303X
  • SDE603X
  • SDE1203X
  • KMB301
  • KMB601
  • KMB1201
  • SD606
  • RD90
  • HC250U
  • MU100
  • MU300

メカニカルブースターポンプ

EDWARDS

エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • EH-250
  • EH-500
  • EH-1200
  • EH-2600
  • EH-4200
  • QMB-250
  • QMB-500
  • QMB-1200

ロータリーポンプ

EDWARDS

エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • E2M18
  • E2M30
  • E2M40
  • E2M80
  • E1M175
  • E1M275
  • RV3
  • ESDP30
アルカテル

アルカテルは現在アディクセンとなっており、弊社では多くの機種に修理、OHの実績が御座います。 お困りの際は、是非弊社とお問い合わせください。

  • 2063
  • 2021SD
神港精機

神港精機株式会社は真空ポンプなどを製造しており弊社ではSR3700Bの修理実績がございます。

  • SR3700B

スクロールポンプ

ANEST IWATA

アネスト岩田株式会社のDry Pump IPS500の修理実績が御座います。

  • IPS500
EDWARDS

エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • ESDP30

クライオポンプ

CanonANELVA

キヤノンアネルバ株式会社はクライオポンプ製造などに加え、多くの真空成膜加工装置製造真空コンポーネント製品製造などを行っています。

  • P-086C
HELIX

株式会社アルバック(旧 日本真空技術株式会社)と米国ヘリックス・テクノロジー・コーポレーション(CTI)(現 Brooks Automation,Inc.) との共同出資、技術契約に基づく合弁会社として設立されました。 クライオポンプのメーカーで弊社では多くの修理実績を持っています。

  • 8185037G001
  • 8185037G002
  • 8185095G001
  • 8185095G001R
  • 8185095G002
  • 8185095G002R
アイシン

アイシン精機株式会社は2014年にクライオポンプ製造・販売を終了しています。 弊社では修理対応が可能です。 お困りの際は、お問い合わせください。

  • GA-12
  • SA08FA-11M-RS2
  • SA08FA-11S-RS2
  • SA08SA-11S
  • SA10FI-11M
  • SA10FI-11S
  • SA10FI-11S-RS1
  • SA12SA-11S-E
鈴木商館

鈴木商館はクライオポンプのメーカーで弊社では多くの機種に対し修理実績が御座いますので是非お問い合わせください。

  • A100L
  • A200
  • A200F
  • A200G
  • A200-AS3NES
  • A200F-AS3NES
  • A250F
  • A300
  • A300F
  • A300-AS2N
  • A300-AS3NES
  • A300F-AS3NES
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