Ebara|半導体の修理オーバーホール対応メーカー|株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

TURBO PUMP

Ebara

株式会社 荏原製作所は真空ポンプ、CMP装置、めっき装置、排ガス処理装置のメーカーで、弊社ではTURBO PUMP、DRY PUMPの修理、中古販売の実績を持っています。

  • ET300C
  • ET300P
  • ET300PD
  • ET300UZ
  • ET300W
  • ET300WS
  • ET450C
  • ET500WS
  • ET600D
  • ET600H
  • ET600P
  • ET600WS
  • ET601H
  • ET800
  • ET800H
  • ET800WS
  • ET801H
  • ET1600
  • ET1600WS

DRY PUMP

Ebara

株式会社 荏原製作所は真空ポンプ、CMP装置、めっき装置、排ガス処理装置のメーカーで、弊社ではTURBO PUMP、DRY PUMPの修理、中古販売の実績を持っています。

  • AA10
  • AA10N
  • A10S
  • AA10S
  • AS10S
  • AA20N
  • AA20
  • A30W
  • AA30
  • AA30N
  • AA40
  • AA40N
  • AA40W
  • AA40WN
  • A70
  • AA70
  • AA70WS
  • AA100
  • AA100WN
  • A150W
  • AA200WN
  • 40×20
  • 50×20USRR6M
  • 80×25UESRR6M
  • 150×40UERR6M
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