TURBO PUMP|半導体の修理オーバーホール対応製品カテゴリー|株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

TURBO PUMP

Alcatel

Alcatel Vacuum Technologyの製品で、TURBO PUMPのOHや中古販売の実績が御座います。

  • 796-900675-102
  • 796-900675-102RevB
  • ACT1300
  • APT80
  • APT100
  • APT150
  • APT300
  • APT400
  • APT900
  • APT5150
  • APT5400
  • APT5402CIS
  • ATH400M
  • ATH1300M
  • ATH1600H
  • ATH1600M
  • ATH2300M
BALZERS

現在は真空部門が独立しPfeiffer Vacuum(ファイファーバキューム)社となっている。 PMP02・TMU065の型式もPfeifferへ移管されている。

  • PMP02
  • TMU065
Ebara

株式会社 荏原製作所は真空ポンプ、CMP装置、めっき装置、排ガス処理装置のメーカーで、弊社ではTURBO PUMP、DRY PUMPの修理、中古販売の実績を持っています。

  • ET300C
  • ET300P
  • ET300PD
  • ET300UZ
  • ET300W
  • ET300WS
  • ET450C
  • ET500WS
  • ET600D
  • ET600H
  • ET600P
  • ET600WS
  • ET601H
  • ET800
  • ET800H
  • ET800WS
  • ET801H
  • ET1600
  • ET1600WS
Leybold

ライボルト株式会社はDryPumpのメーカーで、弊社では多くの機種を修理対応可能です。

  • MAG 400
  • MAG 900
  • MAG 1200
  • MAG 2000
  • MAG 2010CHT
  • MAGW 830
  • MAGW 1300C
  • MAGW 1500CT
  • MAGW 2000
  • MAGW 2010CHT
  • TW250S
  • TW701
  • T1600
Mitsubishi

三菱製ターボポンプのFT,PTシリーズ修理について多くの実績を持っています。

  • FT700・(A1K1)
  • FT800W ・(A1K1)
  • FT1200W・ (A1K1)
  • FT1400W ・ (A1K1)
  • FT2200W
  • FT3000W
  • FT3300W
  • FT3301W
  • PT150
  • PT1500
Osaka

大阪真空製ターボポンプの修理、OHの修理対応実績が御座います。

  • TG050
  • TG220F
  • TG550
  • TG700M
  • TG900M
  • TG1000M
  • TG1103M
  • TG2000M
  • TG2001M
  • TG2203M
  • TG2300M
  • TG2400M
  • TH532
  • TS443
PFEIFFER

ファイファーバキューム社製のターボポンプ修理、OHが対応可能です。

  • THP2101PCX
  • TMH063
  • TMH064
  • TMH064P
  • TMH071P
  • TMH240
  • TMH260
  • TMH260P
  • TMH261
  • TMH261P
  • TMH262
  • TMH520
  • TMH520P
  • TMH520SG
  • TMH521
  • TMH521P
  • TMH521YP
  • TMH521UPX
  • TMH1001P
  • TMH1600PC
  • TMH1601P
  • TPH240
  • TPH510U
  • TPH1201P
  • TPH1501P
  • TPH1600
  • TPH2101PCX
  • TPH2301PCX
  • TPU060
  • TPU062
  • TPU065
  • TPU170
Rigaku

リガクのターボポンプ RTP300VRCなどOHの対応が可能です。

  • RTP300VRC
  • RTPG151
Seiko Seiki

セイコー精機は現エドワーズへ技術移管しておりますが、弊社では多くの機種を修理対応出来ますので、是非お問い合わせください。

  • STP-200C
  • STP-300
  • STP-300C
  • STP-301C
  • STP-301CB1
  • STP-301CB3
  • STP-301CV
  • STP-301CVB
  • STP-301CVJ
  • STP-400
  • STP-400C
  • STP-451
  • STP-451H
  • STP-600C
  • STP-603C
  • STP-1000
  • STP-1000C
  • STP-1003C
  • STP-2001C
  • STP-2002C
  • STP-A803C-U
  • STP-A803H
  • STP-A1303C
  • STP-A1303W1
  • STP-A1603C
  • STP-A2203
  • STP-A2203C
  • STP-A2203KV
  • STP-A2203LVS
  • STP-A2203PV
  • STP-A2203WA
  • STP-A2503C
  • STP-A2503CV
  • STP-A3003C
  • STP-A3003K
  • STP-A3003KV
  • STP-A3503C
  • STP-A3503WAV2
  • STP-F2203C
  • STP-H200C
  • STP-H200K2
  • STP-H200W
  • STP-H300C
  • STP-H301C
  • STP-H400C
  • STP-H451C
  • STP-H600C
  • STP-H600C1
  • STP-H600C2
  • STP-H601C1W
  • STP-H751E
  • STP-H803C
  • STP-H803WA
  • STP-H1000C
  • STP-H1000WA
  • STP-H1301C
  • STP-H1303C
  • STP-H1303CV2
  • STP-H1303CV3
  • STP-H2000C
  • STP-H2001
  • STP-H2001C
  • STP-H2001K1
  • STP-H2001K1B
  • STP-H2001CK1B
  • STP-H2002C
  • STP-H2002WAV
  • STP-H2003C
  • STP-XA2603C
  • STP-XA2703C
  • STP-XA2703CV
  • STP-XH2603C
  • STP-XH2703C
  • STP-XH3203P
Shimadzu

島津製作所のTURBO PUMPを修理、中古販売などを行っております。 お困りの際は、是非弊社へお問い合わせください。

  • TMC 1003MC
  • TMP35
  • TMP50
  • TMP70
  • TMP151
  • TMP200CM
  • TMP200LM
  • TMP202LM
  • TMP203LM
  • TMP203M
  • TMP280L
  • TMP303LM
  • TMP303LMC(A1)
  • TMP303M
  • TMP340M
  • TMP361
  • TMP403LM
  • TMP450
  • TMP550L
  • TMP600
  • TMP802
  • TMP803
  • TMP803M
  • TMP1000C
  • TMP1000L
  • TMP1000LK
  • TMP1002
  • TMP1002LM
  • TMP1003LM
  • TMP1100C
  • TMP1303LMC
  • TMP1500L
  • TMP2003
  • TMP2003LM
  • TMP2003LMEC-K1
  • TMP3003LM
  • TMP3003M
  • TMP3202LMC-K1
  • TMP3203LMEC-K1
  • TMP3203LM-N1
  • TMP3403
  • TMP3403LMC-T1
  • TMP3603LMC
  • TMP3603LMC-A1
  • TMP10023LM
  • TMPH3603LMC
ULVAC

アルバック社は真空技術を応用した製造装置を提供。 半導体、エレクトロニクス、FPD、太陽電池、などあらゆる産業に貢献。

  • UTM150
  • UTM300
  • UTM500
  • UTM2300FW
  • UTM3301W
  • UTM3302FH
Varian

バリアン社は大電流イオン注入装置を製造していましたが、現在はアプライド マテリアルズ社となっております。

  • TV300HT
  • TV301
  • V200A
  • V250
  • V250HT
  • V300HT
  • V551
  • V701
  • V1000
  • V1000A
  • V1000HT
  • V1000ICE
  • V1001
  • V1001HT
  • V1800A
  • VAC361C
  • VAC450
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