TURBO PUMP|半導体の修理オーバーホール対応製品カテゴリー|株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

TURBO PUMP

Alcatel

Alcatel Vacuum Technology(アルカテル)社は、ファイファー・バキュームテクノロジーとなった後、アディクセンブランドとなっています。 (旧アルカテル・バキュームテクノロジー社製品) 弊社ではTURBO PUMPやDRY  PUMPのOHや中古販売の実績が御座います。 お困りの際は、ミチナスへお問い合わせください。

  • 796-900675-102
  • 796-900675-102RevB
  • ACT1300
  • APT80
  • APT100
  • APT150
  • APT300
  • APT400
  • APT900
  • APT5150
  • APT5400
  • APT5402CIS
  • ATH400M
  • ATH1300M
  • ATH1600H
  • ATH1600M
  • ATH2300M
BALZERS

現在は真空部門が独立しPfeiffer Vacuum(ファイファーバキューム)社となっている。 PMP02・TMU065の型式もPfeifferへ移管されている。

  • PMP02
  • TMU065
Ebara

株式会社 荏原製作所はメーカーで、風水力機械カンパニー(風水力事業)、ポンプ、コンプレッサ、タービン、冷熱機械、送風機、環境事業カンパニー(環境事業)、都市ごみ焼却プラント、産業廃棄物焼却プラント、水処理プラント、精密・電子事業カンパニー(精密・電子事業)、真空ポンプ、CMP装置、めっき装置、排ガス処理装置などを製造販売しております。 弊社ではTURBO PUMP、DRY PUMPの修理、中古販売の実績を持っております。

  • ET300C
  • ET300P
  • ET300PD
  • ET300UZ
  • ET300W
  • ET300WS
  • ET450C
  • ET500WS
  • ET600D
  • ET600H
  • ET600P
  • ET600WS
  • ET601H
  • ET800
  • ET800H
  • ET800WS
  • ET801H
  • ET1600
  • ET1600WS
Leybold

ライボルト株式会社のターボ分子真空ポンプは、研究、開発、または、半導体業界のような産業、分析計装またはコーティング技術などの、クリーンな高または超高真空ポンプを必要とする用途で使用されていますDryPumpのメーカーで、弊社では多くの機種を修理対応可能です。 ミチナスでは、多くの機種の修理実績、中古販売実績がございます。

  • MAG 400
  • MAG 900
  • MAG 1200
  • MAG 2000
  • MAG 2010CHT
  • MAGW 830
  • MAGW 1300C
  • MAGW 1500CT
  • MAGW 2000
  • MAGW 2010CHT
  • TW250S
  • TW701
  • T1600
  • TURBOVAC50
Mitsubishi

三菱製ターボポンプのFT,PTシリーズ修理について多くの実績を持っています。

  • FT700・(A1K1)
  • FT800W ・(A1K1)
  • FT1200W・ (A1K1)
  • FT1400W ・ (A1K1)
  • FT2200W
  • FT3000W
  • FT3300W
  • FT3301W
  • PT150
  • PT1500
OSAKA VACUUM

大阪真空機器製作所製ターボポンプの修理、OHの修理対応実績が御座います。

  • TG050
  • TG220F
  • TG550
  • TG700M
  • TG900M
  • TG1000M
  • TG1103M
  • TG2000M
  • TG2001M
  • TG2203M
  • TG2300M
  • TG2400M
  • TH532
  • TS443
PFEIFFER VACUUM

ファイファーバキューム社製のターボポンプ修理、OH、バルブ修理が対応可能です。 ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。

  • THP2101PCX
  • TMH063
  • TMH064
  • TMH064P
  • TMH071P
  • TMH240
  • TMH260
  • TMH260P
  • TMH261
  • TMH261P
  • TMH262
  • TMH520
  • TMH520P
  • TMH520SG
  • TMH521
  • TMH521P
  • TMH521YP
  • TMH521UPX
  • TMH1001P
  • TMH1600PC
  • TMH1601P
  • TPH240
  • TPH510U
  • TPH1201P
  • TPH1501P
  • TPH1600
  • TPH2101PCX
  • TPH2301PCX
  • TPU060
  • TPU062
  • TPU065
  • TPU170
Rigaku

リガクのターボポンプ RTP300VRCなどOHの対応が可能です。

  • RTP300VRC
  • RTPG151
Seiko Seiki

セイコー精機は現エドワーズへ技術移管しておりますが、弊社では多くの機種を修理対応出来ますので、是非お問い合わせください。 2002年にはセイコーインスツルメンツ(現セイ. コーインスツル:略称SII)からターボ分子ポン. プの事業譲渡を受け、新会社ビーオーシーエドワーズテクノロジーズを. 立ち上げターボ分子ポンプの生産を開始。2003年に日本エドワーズは. 同社を統合し、BOCエドワーズとなりました。

  • STP-200C
  • STP-300
  • STP-300C
  • STP-301C
  • STP-301CB1
  • STP-301CB3
  • STP-301CV
  • STP-301CVB
  • STP-301CVJ
  • STP-400
  • STP-400C
  • STP-451
  • STP-451H
  • STP-600C
  • STP-603C
  • STP-1000
  • STP-1000C
  • STP-1003C
  • STP-2001C
  • STP-2002C
  • STP-A803C-U
  • STP-A803H
  • STP-A1303C
  • STP-A1303W1
  • STP-A1603C
  • STP-A2203
  • STP-A2203C
  • STP-A2203KV
  • STP-A2203LVS
  • STP-A2203PV
  • STP-A2203WA
  • STP-A2503C
  • STP-A2503CV
  • STP-A3003C
  • STP-A3003K
  • STP-A3003KV
  • STP-A3503C
  • STP-A3503WAV2
  • STP-F2203C
  • STP-H200C
  • STP-H200K2
  • STP-H200W
  • STP-H300C
  • STP-H301C
  • STP-H400C
  • STP-H451C
  • STP-H600C
  • STP-H600C1
  • STP-H600C2
  • STP-H601C1W
  • STP-H751E
  • STP-H803C
  • STP-H803WA
  • STP-H1000C
  • STP-H1000WA
  • STP-H1301C
  • STP-H1303C
  • STP-H1303CV2
  • STP-H1303CV3
  • STP-H2000C
  • STP-H2001
  • STP-H2001C
  • STP-H2001K1
  • STP-H2001K1B
  • STP-H2001CK1B
  • STP-H2002C
  • STP-H2002WAV
  • STP-H2003C
  • STP-XA2603C
  • STP-XA2703C
  • STP-XA2703CV
  • STP-XH2603C
  • STP-XH2703C
  • STP-XH3203P
Shimadzu

島津製作所のTURBO PUMPを修理、中古販売などを行っております。 お困りの際は、是非弊社へお問い合わせください。

  • TMC 1003MC
  • TMP35
  • TMP50
  • TMP70
  • TMP151
  • TMP200CM
  • TMP200LM
  • TMP202LM
  • TMP203LM
  • TMP203M
  • TMP280L
  • TMP303LM
  • TMP303LMC(A1)
  • TMP303M
  • TMP340M
  • TMP361
  • TMP403LM
  • TMP450
  • TMP550L
  • TMP600
  • TMP802
  • TMP803
  • TMP803M
  • TMP1000C
  • TMP1000L
  • TMP1000LK
  • TMP1002
  • TMP1002LM
  • TMP1003LM
  • TMP1100C
  • TMP1303LMC
  • TMP1500L
  • TMP2003
  • TMP2003LM
  • TMP2003LMEC-K1
  • TMP3003LM
  • TMP3003M
  • TMP3202LMC-K1
  • TMP3203LMEC-K1
  • TMP3203LM-N1
  • TMP3403
  • TMP3403LMC-T1
  • TMP3603LMC
  • TMP3603LMC-A1
  • TMP10023LM
  • TMPH3603LMC
ULVAC

アルバック社は真空技術を応用した製造装置を提供。 半導体、エレクトロニクス、FPD、太陽電池、などあらゆる産業に貢献。

  • UTM150
  • UTM300
  • UTM500
  • UTM2300FW
  • UTM3301W
  • UTM3302FH
Varian

バリアン社は大電流イオン注入装置を製造していましたが、現在はアプライド マテリアルズ社となっております。

  • TV300HT
  • TV301
  • V200A
  • V250
  • V250HT
  • V300HT
  • V551
  • V701
  • V1000
  • V1000A
  • V1000HT
  • V1000ICE
  • V1001
  • V1001HT
  • V1800A
  • VAC361C
  • VAC450

CONTROLLER

Leybold

ライボルト株式会社のターボ分子真空ポンプは、研究、開発、または、半導体業界のような産業、分析計装またはコーティング技術などの、クリーンな高または超高真空ポンプを必要とする用途で使用されていますDryPumpのメーカーで、弊社では多くの機種を修理対応可能です。 ミチナスでは、多くの機種の修理実績、中古販売実績がございます。

  • NT150/360
  • NT340M
  • NT1601
Mitsubishi

三菱製ターボポンプのFT,PTシリーズ修理について多くの実績を持っています。

  • PTI-1500-T7
  • PTI-1500-T8
  • PTI-1500-T9
  • FTI-3001W-T8
  • FTI-700
  • FTI-1200W-T7
OSAKA VACUUM

大阪真空機器製作所製ターボポンプの修理、OHの修理対応実績が御座います。

  • TC1810
  • TD3251
Seiko Seiki

セイコー精機は現エドワーズへ技術移管しておりますが、弊社では多くの機種を修理対応出来ますので、是非お問い合わせください。 2002年にはセイコーインスツルメンツ(現セイ. コーインスツル:略称SII)からターボ分子ポン. プの事業譲渡を受け、新会社ビーオーシーエドワーズテクノロジーズを. 立ち上げターボ分子ポンプの生産を開始。2003年に日本エドワーズは. 同社を統合し、BOCエドワーズとなりました。

  • SCU-300
  • SCU-301H
  • SCU-H600C
  • SCU-750
  • SCU-800
  • SCU-803C
  • SCU-A803C
  • SCU-H803C
  • SCU-1000
  • SCU-1003C
  • SCU-1500
  • SCU-2002C
  • SCU-A2203C
Shimadzu

島津製作所のTURBO PUMPを修理、中古販売などを行っております。 お困りの際は、是非弊社へお問い合わせください。

  • EI-1002M
  • EI-303M
  • EI-3403MD
  • EI-D203M
  • EI-D303M
  • EI-R04M
  • EI-R04MT
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