修理オーバーホール対応一覧
TURBO PUMP
- BALZERS
現在は真空部門が独立しPfeiffer Vacuum(ファイファーバキューム)社となっている。 PMP02・TMU065の型式もPfeifferへ移管されている。
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- PMP02
- TMU065
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DC電源
- BALZERS
現在は真空部門が独立しPfeiffer Vacuum(ファイファーバキューム)社となっている。 PMP02・TMU065の型式もPfeifferへ移管されている。
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- PMC01522
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