EDWARDS|半導体の修理オーバーホール対応メーカー|株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

DRY PUMP

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エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • QDP-40
  • QDP-80
  • DP-40
  • DP-80
  • DP-180
  • GV-160

メカニカルブースターポンプ

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エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • EH-250
  • EH-500
  • EH-1200
  • EH-2600
  • EH-4200
  • QMB-250
  • QMB-500
  • QMB-1200

ロータリーポンプ

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エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • E2M18
  • E2M30
  • E2M40
  • E2M80
  • E1M175
  • E1M275
  • RV3
  • ESDP30

スクロールポンプ

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エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • ESDP30

Chiller

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エドワーズ株式会社はロータリポンプ/ドライポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプのメーカーで、弊社では多くの修理実績があります。

  • TCU40/80PLUS
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