修理オーバーホール対応一覧
TURBO PUMP
- ULVAC
アルバック社は真空技術を応用した製造装置を提供。 半導体、エレクトロニクス、FPD、太陽電池、などあらゆる産業に貢献。
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- UTM150
- UTM300
- UTM500
- UTM2300FW
- UTM3301W
- UTM3302FH
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CRYO PUMP
- ULVAC
アルバック社は真空技術を応用した製造装置を提供。 半導体、エレクトロニクス、FPD、太陽電池、などあらゆる産業に貢献。
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- U-6シリーズ
- U-8シリーズ
- U-10シリーズ
- U-12シリーズ
- U-16シリーズ
- U-20シリーズ
- U-22シリーズ
- U-26シリーズ
- U-30シリーズ
- U-32シリーズ
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DC電源
- ULVAC
アルバック社は真空技術を応用した製造装置を提供。 半導体、エレクトロニクス、FPD、太陽電池、などあらゆる産業に貢献。
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- KE911X
- TR-898A-L-JX
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