BALZERS|半導体の修理オーバーホール対応メーカー|株式会社ミチナス

半導体設備事業

修理オーバーホール対応一覧

TURBO PUMP

BALZERS

現在は真空部門が独立しPfeiffer Vacuum(ファイファーバキューム)社となっている。 PMP02・TMU065の型式もPfeifferへ移管されている。

  • PMP02
  • TMU065

DC電源

BALZERS

現在は真空部門が独立しPfeiffer Vacuum(ファイファーバキューム)社となっている。 PMP02・TMU065の型式もPfeifferへ移管されている。

  • PMC01522
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